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Cleanroom이란?

by 윤2 2022. 9. 2.
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클린룸이란??

 

클린룸(clean room)은 고도로 정교한 여과 시스템에 의해 공기 중의 미립자가 제한되거나 제거되는 특별히 설계된 밀폐된 공간이다. 정교한 기구 또는 의료용품 및 의약품 생산을 위해 고도로 통제되고 모니터링되는 환경을 필요로 하는 산업에서 사용된다. 클린룸으로 분류되기 위해서는, 그것은 세제곱미터 당 미크론의 수에 관한 정확한 국제 기준을 충족해야 한다.

 

클린룸 종류

 

-ICR(Industrial clean room)

미립자를 대상으로 먼지 및 분진 제거

정밀기계, 반도체, 필름, 인쇄 등의 정밀 공업 전자공업 분야

-BCR(Bio clean room)

분진제거 및 미생물 성장억제, 오염방지

식품가공 및 의약, 제약 분야

-BIO HAZARD BH

미생물 감염 으로부터 보호

 

클린룸 국제 표준 규격

 

미연방 규격 fed.std.209E 0.5㎛ 이상의 입자수에 따라 나뉨.

1feet^3 ( 1 feet = 30.48cm)

 

Iso 기준은 0.1㎛ 이상 입자가 1m^3 중 몇 개 포함되어 있는지에 따라 나뉨

( ISO 7 단계부터 0.5미만 입자 고려x)

 

ISO 14644-1 Fed.Std.209E의 범위

도시 환경 외부의 대기에는 입방미터당 35, 000, 000개의 입자가있음.

 

반도체 조립공정 요구사항class 100~ 100,000수준

ISO 7 cleanroom 요구사항

ISO 7 클린룸(Class 10,000 클린룸)HEPA 여과 시스템을 활용하여 입방 피트당 최대 10,000 입자(≥0.5μm)의 공기 청정도 수준을 유지하는 견고한 벽면 제조 시설.

Class 10,000 클린룸 여과 시스템은 15-25%의 필터 커버리지와 시간당 최소 60회의 공기 순환 제공해야 .

ISO 7 여과 시스템의 표준 공기 유량은 평방 피트 당 9-16 CFM

 

Product pass throughs
HEPA fan filters
Heat welded vinyl or epoxy floors
Gowning atrium
Air locks
Air conditioners
Entrance and exit sticky mats
Sealed lighting
Bunny suit, booties, and hood requirements
Stainless steel bench and hands free sink
 

ISO 8 cleanroom 요구사항

클래스 100,000 클린룸이라고도 하는 ISO 8 클린룸은 모듈식 또는 소프트 월링이 가능하며 실내 공기의 입방 피트당 최대 입자 수가 100,000 particles  (≥0.5 um) 이하.

면적의 4-5 % 이상의 HEPA 여과 범위를 가져야하며 평방 피트 당 4-8 CFM의 공기 유량으로 시간당 최소 20 회의 공기 순환.

 

HEPA filtration requirements
Air pressure requirements
Humidity or temperature control requirements
Number of personnel working in the area
Static control requirements
Maximum contaminant levels
Sanitation requirements
Number and type of windows and doorways
Lighting and electrical needs
 
클린룸 방식에 따른 가격과 등급

 

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